做个沟渠才5米宽60厘米需要材料

一种浅沟渠隔离结构的制造方法，于一基底上依序形成垫氧化层、罩幕层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层，然后于基底中形成一沟渠。接着，再于沟渠表面形成衬氧化层，且于基底上形成绝缘层并填满沟渠。随后以罩幕层作为研磨终点，以使用光学终点侦测系统作终点侦测的化学机械研磨制作工艺去除罩幕层上的绝缘层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层。

以化光阻层为罩幕，对该顶盖氧化层、该介电抗反射涂布层、该罩幕层与该垫氧化层进行蚀刻，并持续蚀刻至该基底内，以形成一沟渠。

一种浅沟渠隔离结构的制造方法，于一基底上依序形成垫氧化层、罩幕层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层，然后于基底中形成一沟渠。接着，再于沟渠表面形成衬氧化层，且于基底上形成绝缘层并填满沟渠。随后以罩幕层作为研磨终点，以使用光学终点侦测系统作终点侦测的化学机械研磨制作工艺去除罩幕层上的绝缘层、介电抗反射涂布层与顶盖氧化层。

提供一基底；于该基底上形成一垫氧化层；于该垫氧化层上形成一罩幕层；于该罩幕层上形成一介电抗反射涂布层；于该介电抗反射涂布层上形成一顶盖氧化层。