金刚石的硬度在固体材料中最高,达HV100GPa,热导率为20W·cm-l·K-1,为铜的5倍,禁带宽度为5.47eV,室温电阻率高达1016Ω·cm,通过掺杂可以形成半导体材料。金刚石在从紫外到红外广阔频带里都有很高的光学透射率,它还是一种优良耐腐蚀材料。
类金刚石膜[1] (DLC)是一种与金刚石膜性能相似的新型薄膜材料,它具有较高的硬度,良好的热传导率,极低的摩擦系数,优异的电绝缘性能,高的化学稳定性及红外透光性能。自Asienberg和Chabotv在1979年用离子束沉积法(Ion beam deposition)制得第一片DLC薄膜以来,人们对类金刚石膜的特性、制备方法及其应用领域进行了广泛和深入的研究,类金刚石膜产品已被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。