洁净室等级标准
ISO/DIS 14644-1 洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级
ISO分级 大于等于表中所列粒径悬浮粒子最大允许浓度（颗/m3）
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm
ISO1级 10 2
ISO2级 100 24 10 4
ISO3级 1000 237 102 35 8
ISO4级 10000 2370 1020 352 83
ISO5级 100000 23700 10200 3520 832 29
ISO6级 1000000 237000 102000 35200 8320 293
ISO7级 352000 83200 2930
ISO8级 3520000 832000 29300
ISO9级 35200000 8320000 293000